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單晶硅對石英坩堝的要求
新聞來源:    點擊數:3122    更新時間:2013/4/26 10:59:47    收藏此頁

    石英坩堝是拉制單晶硅的消耗性器皿,每生產一爐單晶硅就用掉一只石英坩堝。因為單晶硅是生產大規模集成電路的原材料,所以對石英坩堝的要求十分苛刻。目前單晶硅的發展主要向大直徑、高純度以及雜質分布高均勻性的方向發展。 而石英坩堝是直拉單晶硅生長過程中的重要材料,它的純度和加工質量會直接影 響單晶硅的產量和質量,隨著直拉單晶硅投料量和晶體生長直徑的不斷增大,對 石英坩堝的純度和質量要求越來越高,主要有以下幾方面要求:

1)材質必須是 高純度半導體級,且純度要高,有害化學元素小于20X 10{;

2)耐高溫性強, 在高溫過程中保持高電阻率及防止軟化;

3)坩堝的尺寸大,國外已普遍使用22 英寸及36英寸的石英坩堝;

4)氣泡要少,氣泡在生產中不長大;

5)規格精度 高,耐溫性能好,節約能源。因此,隨著對大直徑單晶硅質量要求的不斷提高, 對半導體材料用石英制品及相關材料提出了更高的要求。

單晶硅坩堝蓋板    

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