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單晶硅對(duì)石英坩堝的要求
新聞來源:    點(diǎn)擊數(shù):3123    更新時(shí)間:2013/4/26 10:59:47    收藏此頁

    石英坩堝是拉制單晶硅的消耗性器皿,每生產(chǎn)一爐單晶硅就用掉一只石英坩堝。因?yàn)閱尉Ч枋巧a(chǎn)大規(guī)模集成電路的原材料,所以對(duì)石英坩堝的要求十分苛刻。目前單晶硅的發(fā)展主要向大直徑、高純度以及雜質(zhì)分布高均勻性的方向發(fā)展。 而石英坩堝是直拉單晶硅生長過程中的重要材料,它的純度和加工質(zhì)量會(huì)直接影 響單晶硅的產(chǎn)量和質(zhì)量,隨著直拉單晶硅投料量和晶體生長直徑的不斷增大,對(duì) 石英坩堝的純度和質(zhì)量要求越來越高,主要有以下幾方面要求:

1)材質(zhì)必須是 高純度半導(dǎo)體級(jí),且純度要高,有害化學(xué)元素小于20X 10{;

2)耐高溫性強(qiáng), 在高溫過程中保持高電阻率及防止軟化;

3)坩堝的尺寸大,國外已普遍使用22 英寸及36英寸的石英坩堝;

4)氣泡要少,氣泡在生產(chǎn)中不長大;

5)規(guī)格精度 高,耐溫性能好,節(jié)約能源。因此,隨著對(duì)大直徑單晶硅質(zhì)量要求的不斷提高, 對(duì)半導(dǎo)體材料用石英制品及相關(guān)材料提出了更高的要求。

單晶硅坩堝蓋板    

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